プラスチック基板半導体技術：プラスチックの勉強資料

30章でπ結合を持つ芳香族化合物チオフェンについて少し触れました。その チオフェンを重合させたポリチオフェンという導電性プラスチックを用いて、 ゼロックス社は面白い技術を開発しました。

現在、半導体の基板でよく使われているのはシリコンです。16章でも注意し ましたが、樹脂としてのシリコーンではありません。ケイ素という元素のこと です。そのシリコンに回路パターンを描きます。具体的にはマスクという石英 などの透明板に書かれた回路パターンをウェハー上のレジスト膜に光で正確に 写し取ります。それから光が当らなかった部分を洗い流すのです。この技術を フォトリソグラフィと呼びます。手間もコストもかかる方法ですが、導電体と して金属を使う以上、こういった方法が今のところはベストなのです。しかし 導電体としてプラスチックを使うのならどうでしょう。元々が可塑性に富んだ 物質ですから、例えばインクジェット技術で導電性プラスチックを任意のパタ ーンで飛ばして定着させることができます。プリンタなみの簡単な作業であり、 しかも基板は熱に強い必要はありません。回路と同じくプラスチックでよいの です。こうすれば例えば有機ＥＬ方式による折り曲げ可能ディスプレーなどに も応用できます。また電子ペーパーにも使えるかもしれません。

廃プラスチックと燃料電池

光や温度に反応するポリマー